Раньше закупали, теперь производим: в России запускают ключевой компонент для микросхем
NewsMakerГаз, без которого не будет ни чипа, ни лазера.
Сотрудники АО «НИИ НПО «Луч» (Подольск, входит в Научный дивизион госкорпорации «Росатом») разработали технологию и аппаратурно-технологическую схему изготовления особо чистого гексафторида вольфрама. Работа велась в 2023–2024 годах в рамках госконтракта с Минпромторгом России и направлена на импортозамещение и достижение технологической независимости.
Сейчас проектируется первый в России производственный участок по выпуску гексафторида вольфрама с полной цепочкой технологического и аналитического оборудования.
Разработка технологии велась в сотрудничестве с ННГУ им. Н.И. Лобачевского, ООО «Ферри Ватт», Институтом химии высокочистых веществ РАН и Томским госуниверситетом. Созданы лабораторная и опытная установки сорбционной очистки, опытная установка ректификационной очистки, а также методики измерения газовых и металлических примесей. По словам гендиректора АО «НИИ НПО «Луч» Павла Карболина, это позволяет достичь технологического суверенитета.
Особо чистый гексафторид вольфрама применяется в микроэлектронике, в частности, при осаждении вольфрама из газовой фазы на полупроводниковые структуры, а также при получении покрытий и изделий методами газофазной металлургии.
Научный дивизион «Росатома» занимается фундаментальными и прикладными исследованиями в области ядерных и неядерных технологий, включая термоядерный синтез, ядерную медицину, новые материалы и медицинское оборудование. В его составе — 13 институтов и компаний, включая ГНЦ РФ-ФЭИ, ГНЦ НИИАР, НПО «Луч», «Гиредмет» и другие.
Сотрудники АО «НИИ НПО «Луч» (Подольск, входит в Научный дивизион госкорпорации «Росатом») разработали технологию и аппаратурно-технологическую схему изготовления особо чистого гексафторида вольфрама. Работа велась в 2023–2024 годах в рамках госконтракта с Минпромторгом России и направлена на импортозамещение и достижение технологической независимости.
Сейчас проектируется первый в России производственный участок по выпуску гексафторида вольфрама с полной цепочкой технологического и аналитического оборудования.
Разработка технологии велась в сотрудничестве с ННГУ им. Н.И. Лобачевского, ООО «Ферри Ватт», Институтом химии высокочистых веществ РАН и Томским госуниверситетом. Созданы лабораторная и опытная установки сорбционной очистки, опытная установка ректификационной очистки, а также методики измерения газовых и металлических примесей. По словам гендиректора АО «НИИ НПО «Луч» Павла Карболина, это позволяет достичь технологического суверенитета.
Особо чистый гексафторид вольфрама применяется в микроэлектронике, в частности, при осаждении вольфрама из газовой фазы на полупроводниковые структуры, а также при получении покрытий и изделий методами газофазной металлургии.
Научный дивизион «Росатома» занимается фундаментальными и прикладными исследованиями в области ядерных и неядерных технологий, включая термоядерный синтез, ядерную медицину, новые материалы и медицинское оборудование. В его составе — 13 институтов и компаний, включая ГНЦ РФ-ФЭИ, ГНЦ НИИАР, НПО «Луч», «Гиредмет» и другие.